Merck社が製造する高純度ケミカル供給装置（ChemGuard）は、ケミカル材料の性状（毒性、可燃、腐食、蒸気圧）およびお客様のご要望に合わせた各種仕様をご用意しています。また、使用するケミカル蒸気量を制御する恒温槽や流量コントロールシステムなど、幅広い提案を行っています。

取り扱う高純度ケミカル供給装置の種類

• CG100：TEOS，TEB，TEPO他（汎用ケミカル）※標準モデル：VM製
• CG200：BTBAS，BDEAS ※特殊バルブシート材使用：VM製
• CG300：3DMAS他 ※禁水性、腐食性ケミカル対応：VM製
• CG400：TMA他 ※自然発火性ケミカル対応：VM製
• CG500：TEMAHf，Zr材料他 ※ソルベントパージ機能付：VM製